6月30日，中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（簡稱“中科儀”）的北交所IPO申請獲受理。

本次公司計劃募資8.25億元，投向干式真空泵產業化建設項目、高端半導體設備擴產及研發中心建設項目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發項目。

招股書顯示，中科儀主營業務為干式真空泵和真空科學儀器設備的研發、生產、銷售，及相關技術服務。

行業地位方面，公司是集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業，是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現批量應用的國產企業，有效保障了我國集成電路制造設備關鍵零部件的自主可控和供應鏈安全。截至目前，公司各類干式真空泵的出貨量已累計超過4萬臺，其中集成電路領域出貨量超2.5萬臺。根據市場預計數據測算，2024年公司干式真空泵在集成電路領域國內市占率約為12.72%，打破歐美及日本企業在國內市場的長期壟斷。

在干式真空泵領域，公司的研發創新打破歐美及日本企業的長期壟斷：干式真空泵產品滿足14nm先進邏輯芯片以及128層及以上3D NAND等存儲器工藝的生產需要，已在中國各領先晶圓制造企業實現大批量應用，廣泛支持中芯國際、長江存儲、華虹集團、長鑫存儲、華潤微、上海積塔、廣州粵芯等國內主流晶圓制造企業，以及北方華創、拓荊科技、客戶A等國內主流半導體設備廠，并已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現小批量出貨。除硅基半導體外，公司干式真空泵產品也可廣泛應用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導體的制備，并已實現批量交付。

財務數據顯示，2022年至2024年中科儀實現營業收入分別為6.98億元、8.52億元、10.82億元；對應凈利潤分別為4.98元、6億元、1.93億元。

從本次具體募投項目來看，干式真空泵產業化建設項目投資總額7億元，擬使用募集資金2.31億元，建設周期為4年；該項目將提升公司干式真空泵的生產能力，形成年產20040臺干式真空泵的生產能力；目前，項目已經完成土地購置、部分廠房及產線建設、部分設備購置。

中科儀認為，在集成電路產業的晶圓制造生產線種類眾多的專用裝備中，70%左右都需要在真空的工藝環境生產組裝。出于環保、效率以及真空度的考慮，結合集成電路對真空系統特有的清潔、無油、耐腐蝕的要求，干式真空泵成為集成電路行業的首選真空獲得設備，可以極大的提高產品性能和質量。

“因此本項目所生產的干式真空泵設備將成為公司擴大業務規模的重要機遇，是公司在行業中保持競爭優勢的必然要求。”中科儀在招股書中談到。

本次募投的另一個項目是建設高端半導體設備擴產及研發中心，擬使用募集資金4.74億元。據介紹，該項目擬建設高端半導體設備生產、研發及配套設施，引入自動化生產設備和先進的研發測試儀器，旨在提高公司在高端半導體設備領域的技術水平和生產能力。項目所生產的H系列干式真空泵是集成電路設備中的重要配套設備之一，廣泛用于刻蝕、PVD、CVD等集成電路制造部分工藝中等。同時，項目也將擴產少量渦旋泵，主要用于科研、工業、醫藥等領域。

新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發項目擬使用募集資金1.21億元，建設周期為3年。該項目將針對半導體領域研發超高速節能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產品，同時面向泛半導體、工業真空、儀器制造、科學研究等市場開發大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機組。